基板处理方法

摘要

明提供一种可同时处理复数种基板而提高处理量之基板
处理方法。
基板处理方法系将复数个基板固持器6划分成第一群及第
二群，将复数个基板固持器6分别分配于规定基板W之处理条件的第一制法或第二制法的任何一个，为了执行按照第一制法之第一处理及按照第二制法之第二处理，就有可能搬送基板W及基板固持器6之全部搬送顺序计算总搬送时间，而决定总搬送时间为最短之搬送顺序，按照所决定之搬送顺序搬送复数个基板W，而且使用属于第一群之基板固持器6对1个或复数个基板W执行第一处理，使用属于第二群之基板固持器6对1个或复数个基板W执行第二处理。

主权项

一种基板处理方法，其特征为：将复数个基板固持器划分成第一群及第二群，将前述复数个基板固持器分别分配于规定基板之处理条件的第一制法或第二制法的任何一个，为了执行按照前述第一制法之第一处理及按照前述第二制法之第二处理，就有可能搬送前述基板及前述基板固持器之全部搬送顺序计算总搬送时间，决定前述总搬送时间为最短之搬送顺序，按照前述所决定之搬送顺序搬送前述复数个基板，使用属于前述第一群之基板固持器对1个或复数个基板执行前述第一处理，使用属于前述第二群之基板固持器对1个或复数个基板执行前述第二处理。