资料修正装置、描绘装置、检查装置、资料修正方法、描绘方法、检查方法及记录有程式之记忆媒体

摘要

修正部21具备有：设计资料记忆部211，其储存藉由蚀刻而形成于基板上之图案之设计资料；蚀刻特性记忆部212，其储存分别对应于基板之复数个基准位置之复数个蚀刻特性；区域蚀刻特性取得部213，其根据基板上之各分割区域与复数个基准位置个别之位置关系来求取各分割区域之区域蚀刻特性；及分割资料修正部214，其将设计资料分割为与复数个分割区域对应之复数个分割资料，并根据各分割区域之区域蚀刻特性来修正各分割资料。藉此，可顾虑到因各分割区域在基板上位置的不同所导致蚀刻特性之差异，而精度良好地对各分割资料进行蚀刻修正。

主权项

一种资料修正装置，系修正藉由蚀刻而形成于对象物上之图案之设计资料者，其具备有：设计资料记忆部，其储存藉由蚀刻而形成于对象物上之图案之设计资料；蚀刻特性记忆部，其储存分别对应于上述对象物上之复数个基准位置之复数个蚀刻特性；区域蚀刻特性取得部，其针对被设定于上述对象物上之复数个分割区域之各者，在根据各分割区域与上述复数个基准位置个别的位置关系而对上述复数个蚀刻特性进行权重设定后，根据权重设定后之上述复数个蚀刻特性来求取作为上述各分割区域之蚀刻特性的区域蚀刻特性；及分割资料修正部，其将上述设计资料分割为与上述复数个分割区域对应之复数个分割资料，并根据与上述各分割资料对应之上述各分割区域之上述区域蚀刻特性来修正各分割资料。