电子射线装置

摘要

明的目的系提供一种电子射线装置，其系将评估区域分割成复数个副视野，并将1次电子射线依序照射于副视野，且依各个副视野，利用检测手段将包含试料面之资讯的2次电子进行检测，从而得到评估区域的资讯之电子射线装置，其系即使使用图框数/sec小的区域感测器亦可得到高速的画像者。为此，电子射线装置之检测手段26系具备有复数个单元检测器24-1，其系由下述构件所构成：区域感测器CCD1至CCD14；其一端结合于区域感测器之检测面之光纤束25；以及形成有涂布在光纤束之另一端、且用以成像副视野的2次电子射线之闪烁体的FOP。藉由电磁偏向器，每当照射电子射线之副视野移动时，使来自该副视野之2次电子射线偏向，并使之移动于单元检测器之FOP面上。由于自各单元检测器，可于其他之单元检测器的曝光中可取出画像资讯，故可取得高速画像。

主权项

一种电子射线装置，系使用复数个电子束检查试料表面者，系包括：复数个电子枪，分别产生电子束；复数个1次电子光学系统，系对应于复数个电子枪之各者而设置者，且将来自对应之电子枪之电子束引导至试料表面而进行照射；以及复数个2次电子光学系统，系分别对应于复数个1次电子光学系统而设置者，且将因为由对应之1次电子光学系统所照射之电子束而从试料放出之2次电子引导至对应之检测器；其中，复数个1次电子光学系统系包括构成为一体的构造之复数个物镜，该复数个物镜系包括：2个磁性体板，系于该等物镜共通地沿光轴方向隔着透镜间隙而重叠，且于复数个一次光学系统各自的光轴所对应之位置开设有孔；以及物镜激励用线圈，系配置于该磁性体板的周围部。