电晶体及其制作方法

摘要

电晶体，包括一基板、一源极、一汲极、一主动部、一鳍状闸极以及一绝缘层。源极配置于基板上。汲极配置于基板上。主动部连接源极与汲极。鳍状闸极包覆主动部。绝缘层的一第一部分分隔鳍状闸极与主动部，绝缘层的一第二部分分隔鳍状闸极与基板，绝缘层的一第三部分分隔鳍状闸极与源极，且分隔鳍状闸极与汲极，且绝缘层的一第四部分配置于鳍状闸极之背对于主动部的表面上。绝缘层为一体成型。一种电晶体的制作方法亦被提出。

主权项

一种电晶体的制作方法，包括：提供一基底；在该基底上形成一鳍状闸极；在该鳍状闸极上覆盖一绝缘层；提供一基板；在该基板上形成一可塑形金属氧化物层；将该鳍状闸极插置于该可塑形金属氧化物层中；在将该鳍状闸极插置于该可塑形金属氧化物层中之后，使该可塑形金属氧化物层固化；以及对该可塑形金属氧化物层之被该鳍状闸极暴露出的部分进行处理，以使该部分的导电性提高。