胶带扩张装置

摘要

明的课题是提供一种胶带扩张装置，其在将供晶圆黏贴且外周部被装设于环状框架上的切割胶带予以扩张之时，可在切割胶带发生破断的时刻检测出破断，其中该晶圆在以复数条分割预定线划分出之区域中形成有复数个器件。解决手段为一种胶带扩张装置，用以将可供在以复数条分割预定线划分出之区域中形成有复数个器件的晶圆黏贴，且外周部被装设在环状框架上的切割胶带予以扩张，并具备：框架保持手段，包括有用以保持环状框架之环状的保持面；扩张构件，具有比环状框架的内径小且比晶圆的直径大的直径，且作用在被保持于该框架保持手段之环状的保持面上的环状框架上所装设的切割胶带上以进行扩张；扩张构件作动手段，用以使扩张构件于相对于该框架保持手段之环状的保持面为垂直的方向上作动；驱动负载检测手段，用以检测扩张构件作动手段的驱动负载；控制手段，根据来自驱动负载检测手段之检测讯号，判定切割胶带之破断；显示手段，显示控制手段之判定结果。控制手段会根据作动扩张构件作动手段而扩张切割胶带之时来自驱动负载检测手段之检测讯号，于随着切割胶带之扩张使驱动负载上升之时，在驱动负载降低了的时刻判定出切割胶带已破断。

主权项

一种胶带扩张装置，用以将可供在以复数条分割预定线划分出之区域中形成有复数个器件的晶圆黏贴，且外周部被装设在环状框架上的切割胶带予以扩张，该胶带扩张装置的特征在于，其具备：框架保持手段，包括有保持环状框架之环状的保持面；扩张构件，具有比环状框架的内径小且比晶圆的直径大的直径，且作用在被保持于该框架保持手段之环状的保持面上的环状框架上所装设的切割胶带上以进行扩张；扩张构件作动手段，使该扩张构件于相对于该框架保持手段之环状的保持面为垂直的方向上作动；驱动负载检测手段，检测该扩张构件作动手段的驱动负载；控制手段，根据来自该驱动负载检测手段之检测讯号，判定切割胶带之破断；以及显示手段，显示该控制手段之判定结果，该控制手段会根据作动该扩张构件作动手段而扩张切割胶带之时来自该驱动负载检测手段之检测讯号，于驱动负载随着切割胶带之扩张而上升之时，在驱动负载降低时判定为切割胶带已破断。