带电粒子束装置、模拟方法及模拟装置

摘要

装置，系就因照射于样品之带电粒子而起的电子之检测数藉模拟作计算，生成前述样品之模拟影像。模拟装置，系保存将带电粒子之入射条件与侵入长赋予关联的侵入长资讯、示出样品之构成的样品构成资讯、及将带电粒子之入射条件与放出电子数赋予关联之放出电子数资讯。模拟装置，系根据在既定之入射点的入射条件、前述侵入长资讯、前述样品构成资讯及前述放出电子数资讯，就从既定之入射点所放出的电子数作计算。

主权项

一种带电粒子束装置，藉带电粒子就样品作扫描，就因前述带电粒子而起之电子作检测而形成扫描影像，包含：腔室；对于设置于前述腔室内之样品以带电粒子束作照射之带电粒子源；就来自前述样品之电子作检测的检测器；根据藉前述检测器之检测结果而生成扫描影像，作显示之控制部；及就因照射于前述样品之带电粒子而起的电子之检测数藉模拟作计算，生成前述样品之模拟影像之模拟影像生成部；前述模拟影像生成部，系保存：将带电粒子之入射条件与侵入长赋予关联之侵入长资讯；示出样品之构成的样品构成资讯；及将带电粒子之入射条件与放出电子数赋予关联之放出电子数资讯；根据在既定之入射点的入射条件、前述侵入长资讯、前述样品构成资讯及前述放出电子数资讯，就从前述既定之入射点所放出的电子数作计算。