发明名称 电子零件搬送装置及电子零件检查装置
摘要 明之电子零件检查装置系包括被搬入IC元件之第1室、自第1室被搬入IC元件之第2室、及自第2室被搬入IC元件之第3室。而且,第2室内之湿度低于第1室内之湿度。
申请公布号 TW201604562 申请公布日期 2016.02.01
申请号 TW104122623 申请日期 2015.07.13
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 桐原大辅;前田政己;下岛聡兴
分类号 G01R31/26(2014.01);G01R31/28(2006.01) 主分类号 G01R31/26(2014.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项 一种电子零件搬送装置,其特征在于包括:供电子零件搬入之第1室、供上述电子零件自上述第1室搬入之第2室、及供上述电子零件自上述第2室搬入之第3室,且上述第2室内之湿度低于上述第1室内之湿度。
地址 日本