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发明名称
回收废硫酸溶液的方法与装置
摘要
露提供一种回收废硫酸溶液的方法与装置。回收废硫酸溶液的方法包提供一反应槽以及将一废硫酸溶液导入至该反应槽中,其中该废硫酸溶液包括过氧化氢(H2O2)。回收废硫酸溶液的方法尚包括供应一含有氯的化合物至该反应槽中;以及混合该含有氯的化合物与该废硫酸溶液,以引起一化学反应,其中该化学反应为分解过氧化氢(H2O2)之化学反应。
申请公布号
TW201604126
申请公布日期
2016.02.01
申请号
TW104106962
申请日期
2015.03.05
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司
发明人
徐进峰;王若杰;许敬荣;陈万裕;洪汉儒
分类号
C01B17/90(2006.01)
主分类号
C01B17/90(2006.01)
代理机构
代理人
洪澄文;颜锦顺
主权项
一种回收废硫酸溶液的方法,包括:提供一反应槽;将一废硫酸溶液导入至该反应槽中,其中该废硫酸溶液包括过氧化氢(H2O2);供应一含有氯的化合物至该反应槽中;以及混合该含有氯的化合物与该废硫酸溶液,以引起一化学反应,其中该化学反应为分解过氧化氢(H2O2)之化学反应。
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
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