光束变换元件、光学照明装置、曝光装置、以及曝光方法

摘要

明提供一种光学照明装置，不仅能有效地抑制光量损失，且能够形成圆周方向偏光状态的轮胎状之照明瞳分布。本发明的光学照明装置，配置光束变换元件(50)，可依入射光束在所定面形成轮胎状的光强度分布。该光束变换元件，用有旋光性的光学材料形成，由包括：依入射光束形成轮胎状光强度分布中的第一圆弧状区域分布的第一基本元件(50A)，及形成第二圆弧状区域分布的第二基本元件(50B)，及形成第三圆弧状区域分布的第三基本元件(50C)，以及形成第四圆弧状区域分布的第四基本元件构成。这些各基本元件在沿光束之透过方向的厚度互异。

主权项

一种光学照明装置，利用照明光对物体进行照明，所述光学照明装置的特征在于包括：旋光元件，包含：由具有旋光性的光学材料所形成、且所述光学材料的光学轴的方向与所述光学照明装置的光轴的方向为一致的方式，而配置在所述照明光的光路中的第1基本元件与第2基本元件，使所述照明光的偏光方向藉由所述光学材料的旋光性而进行旋转；以及波面分割型的光学积分器，配置在来自于所述旋光元件的所述照明光的光路中；所述第1基本元件与所述第2基本元件是：与所述光轴为垂直的方向相关，而配置于所述照明光的光路内的相互不同的位置，所述旋光元件是：使设定的一个方向作为偏光方向的直线偏光状态入射到所述旋光元件，所述照明光中的通过所述第1基本元件的第1光束、与和所述第1光束不同的通过所述第2基本元件的第2光束是：经由所述光学积分器，以在所述光学照明装置的瞳面的相互不同的方向作为偏光方向的方式，使所述第1光束的偏光方向与所述第2光束的偏光方向旋转相互不同的角度。