微调装置之电磁煞车组合

摘要

微调装置之电磁煞车组合，主要包括有：一基座、复数个XY θ导向构件、一承载座、一电磁刹车器、一摄影装置以及一控制器，以摄影装置接收校正点之座标使承载座回归至中心座标，而电磁刹车器以磁力吸住承载座进而抵抗侧向力，若侧向力大于磁力造成承载座，再次由摄影装置校正承载座回归到中心座标，以多重检测的方式，增进后续检测、加工位置之精准度者。

主权项

一种微调装置之电磁煞车组合，包括：一基座；XY θ导向构件，系设置于该基座上，并具有一平移模组与设置于该平移模组之上一旋转模组；其中，该平移模组系包括：一X方向驱动元件与一Y方向驱动元件；一承载座，系设置于该XY θ导向构件之上，并对应于该于表面上形成复数校正点；其中，该承载座可藉由该X方向驱动元件将该承载座相对于该基座朝X方向推进；并且，该Y方向驱动元件将该承载座相对于该基座朝Y方向推进；一电磁刹车器，系设置该基座中央上，并包括.一轭座；一电磁铁，系套设于该轭座；一电枢板，系设置于轭座顶部；一预压式簧片，系透过电枢板而连接该承载座用以使该承载座受该电磁刹车磁吸于该预压式簧片，用以抵抗侧向力；复数摄影装置，为量测并定义承载座上之复数校正点
的座标；控制器，为定义承载座的中心座标，以及定义复数校正点所围成的作业区间，而由控制器中所设置之运算软体求得作业区间的座标原点及座标角度，当X方向驱动元件或Y方向驱动元件受控制器输出参数被驱动而带动承载座位移，该控制器能以摄影装置同步接收复数校正点的座标，并以控制器计算出该作业区间的中心点作为平台的座标原点，当作业区间的座标原点及座标角度有误差，控制器会自动比对并计算座标补偿误差值，以输出补偿参数至X方向驱动元件或Y方向驱动元件，使承载座回归至中心座标，接着，该控制器驱动电磁刹车器使承载座吸于预压式簧片，用以抵抗侧向力，当承载座因侧向力过大造成偏移时，该控制器能以摄影装置同步接收复数校正点的座标，并以控制器重新计算出该作业区间的中心点作为平台的座标原点，并且输出补偿参数至X方向驱动元件或Y方向驱动元件，使承载座回归至中心座标。