METHOD FOR PRODUCING GRAPHENE

摘要

그래핀의 도메인의 사이즈를 크게 할 수 있는 그래핀의 생성 방법을 제공한다. 플라즈마 CVD 성막 장치(10)에 있어서, 웨이퍼(W)에 형성된 촉매 금속층(55)을 활성화해서 활성화 촉매 금속층(56)으로 변화시키고, 웨이퍼(W)에 대향하는 공간(S2)에서 저반응성의 탄소 함유 가스인 CH가스를 플라즈마에 의해 분해하고, 또한 공간(S2)에서 고반응성의 탄소 함유 가스인 CH가스를 열로 분해한다.