发明名称 |
用于制造坩埚之金属和石墨模具以及方法 |
摘要 |
制造熔融矽石坩埚的模具,其系包含有一内膛孔之一柱形罐子。石墨嵌件收容于该膛孔中以及有适于形成该坩埚之下表面的上表面同时该罐子的内膛孔形成该坩埚的侧壁。矽石颗粒沉积于旋转时的模具。在熔融期间,在嵌件上方及嵌件中形成于该罐子中的膛孔吸引空气通过该矽石。
|
申请公布号 |
TWI519493 |
申请公布日期 |
2016.02.01 |
申请号 |
TW101121766 |
申请日期 |
2012.06.18 |
申请人 |
信越石英有限责任公司 |
发明人 |
剑持克彦;贝尔 拉瑞E;海格史东 卡尔 |
分类号 |
C03B20/00(2006.01);C30B15/10(2006.01) |
主分类号 |
C03B20/00(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
恽轶群;陈文郎 |
主权项 |
一种用于制造有实质柱形侧壁之熔融矽石坩埚的模具,其系包含:有一内膛孔之一柱形罐子,该内膛孔经构成及配置成可形成该等实质柱形侧壁;收容于该罐子内的一石墨嵌件,该嵌件有适于形成该坩埚之下区的一上表面;一充气室,其系形成于该嵌件的下端与该罐子的底部之间;形成于该罐子周缘以及与该充气室连通的一第一复数个膛孔;形成于该罐子周缘以及与它在该嵌件上方之内部连通的一第二复数个膛孔;于该嵌件中在该上表面与该充气室之间形成复数个膛孔;一导管,其系使该等第一膛孔中之至少一些的每一者各与该等第二膛孔连接,藉此提供该充气室与该罐子在该嵌件上方之内部的连通;以及在该嵌件与该罐子之间各自形成于其周缘的一密封件。
|
地址 |
日本 |