| 摘要 |
본 발명은 발광효율 및 열방출 효율이 우수한 수직형 발광다이오드 소자의 제조공정 중 기판을 서브마운트에 접합시키는 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 기판과 서브마운트의 가열 온도를 달리하여 냉각시 열팽창계수 차이에 의한 휨을 방지한다. 본 발명의 서브마운트 기판 접합 방법은 열팽창계수가 작은 기판은 고온 가열하고 열팽창계수가 큰 기판은 냉각 또는 저온 가열하는 방법으로 공융접합, 용접, 브레이징, 솔더링 등의 접합온도를 형성하는 것이다. 본 발명의 서브마운트 기판 접합 장치는 열팽창계수가 작은 기판을 고온 가열하는 제 1 가열부와 열팽창계수가 큰 기판을 냉각 또는 저온 가열하는 제 2 냉각부 또는 가열부로 구성된다. |
