| 发明名称 |
Device for precise positioning in particular a scanner in an atomic force microscope and a tunneling microscope |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PL220833(B1) |
申请公布日期 |
2016.01.29 |
| 申请号 |
PL20100391228 |
申请日期 |
2010.05.14 |
| 申请人 |
INSTYTUT TECHNOLOGII EKSPLOATACJI - PA&Nacute,STWOWY INSTYTUT BADAWCZY |
发明人 |
ZBROWSKI ANDRZEJ |
| 分类号 |
G02B21/26;G05D3/00;H01J37/20;H01J37/26 |
主分类号 |
G02B21/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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