| 摘要 |
성막재료의 재료 이용효율을 향상시킬 수 있는 성막장치를 제공한다. 성막장치(1)는, 증발원(2)으로부터의 성막재료입자(Mb)의 확산폭을 조정하는 확산폭 조정부(50)를 구비하고 있다. 이 확산폭 조정부(50)는, 짧은 길이방향(D1)에 있어서의 확산폭에 비해, 짧은 길이방향(D1)에 직교하는 긴 길이방향(D2)에 있어서의 확산폭을 크게 할 수 있다. 즉, 확산폭 조정부(50)는, 긴 길이방향(D2)에 있어서의 확산폭에 비해, 짧은 길이방향(D1)에 있어서의 확산폭을 작게 할 수 있다. 따라서, 짧은 길이방향(D1)에 대향하는 진공챔버(10)의 측벽(10i) 및 측벽(10h)에 부착되는 것을 억제하도록, 짧은 길이방향(D1)에 있어서의 확산폭을 작게 할 수 있다. 이로써, 진공챔버(10)의 벽면에 부착되는 성막재료입자(Mb)를 감소시킬 수 있어, 성막재료(Ma)의 재료 이용효율을 향상시킬 수 있다. |
