| 摘要 |
본 발명은 에어로졸 챔버의 내부공간을 저장공간과 흡입공간으로 구획한 후, 저장공간에 있는 분말을 흡입공간으로 일정한 양만큼 지속적으로 공급하고, 흡입공간에 유입된 분말과 근접한 곳에서 지속적으로 흡입함으로써 분말을 증착 챔버 내로 연속적으로 정량 공급할 수 있는 균일 미세분말 연속 공급장치에 관한 것이다.본 발명의 균일 미세분말 연속 공급장치는, 내부에 공간이 구비된 에어로졸 챔버와, 상기 에어로졸 챔버 내부를 분말이 저장되는 저장공간과 분말이 외부로 공급되는 흡입공간으로 구획하는 구획판과, 상기 에어로졸 챔버의 하부에 회전 가능하게 구비되어 상기 저장공간 및 흡입공간의 분말을 지지하고, 그 상면에는 분말이 적재되는 요철부가 형성된 분말공급판과, 상기 에어로졸 챔버의 일측에 구비되며 운송가스가 유입되는 가스공급구 및 증착 챔버와 상기 흡입공간을 연결하되, 상기 흡입공간으로 공급된 분말과 근접한 곳에 위치하여 흡입한 후 상기 증착 챔버로 공급하는 흡입노즐을 포함하고, 상기 분말공급판의 회전시 상기 구획판은 고정되고, 상기 저장공간에서 적재된 분말 중 상기 요철부에 적재된 분말만 선별되어 상기 흡입공간에 공급되는 것을 특징으로 한다. |
