| 摘要 |
사용하기 편리하고 시료를 하전 입자 기술 및 광학 기술에 의해 적확하게 검사 또는 관찰하는 것이 가능한 검사 장치, 관찰 장치가 제공된다. 하전 입자 조사부로부터 방출된 1차 하전 입자선이 시료에 도달하는 사이(gap)의 적어도 일부의 영역으로 되는 진공 상태로 유지 가능한 제1 공간(11)의 적어도 일부를 형성하는 제1 하우징(7)과, 상기 제1 하우징(7)에 구비되고 상기 시료를 저장 가능한 제2 공간(12)의 적어도 일부를 형성하는 제2 하우징(121)과, 상기 하전 입자 조사부로부터 조사된 1차 하전 입자선이 시료 상에 조사될 때의 상기 하전 입자 조사부의 동축 상에 배치되고, 상기 제1 공간과 상기 제2 공간을 이격하는 격벽부(10)와, 상기 시료에 대해 광을 조사하고, 상기 하전 입자 조사부와 같은 방향에서 상기 시료로부터의 광을 검출하는 광학식 관찰부를 구비하는 검사 또는 관찰 장치가 제공된다. |
