| 摘要 |
荷電粒子線装置では基本的に１万倍以上で観察することが多く、肉眼で見える試料の向きと取得した画像上の試料の向きの対応が分かりづらく、傾斜の方向等を直感的に把握することが困難であった。本発明では、試料の向きや傾斜の状態を直感的に把握することを目的とし、本発明にかかる荷電粒子線装置は、荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、前記荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子光学系と、前記試料を載置する試料台と、前記試料台を少なくとも傾斜方向に移動することが可能なステージと、前記試料台の傾斜状態を前記試料台の擬似画像を用いて表示する表示部と、ユーザが前記試料の観察対象箇所および観察方向の指示を行う入力部と、前記操作部から入力された信号に基づいて前記ステージの移動量を制御する制御部とを備えることを特徴とする。 |
