发明名称 Vacuum pumping system
摘要
申请公布号 US3164320(A) 申请公布日期 1965.01.05
申请号 US19620208973 申请日期 1962.07.10
申请人 WELBOURN JOHN T 发明人 WELBOURN JOHN T.
分类号 H01J41/12 主分类号 H01J41/12
代理机构 代理人
主权项
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