拡散冷却方式ガスレーザ装置および拡散冷却方式ガスレーザ装置での放電分布の調整方法

摘要

拡散冷却方式ガスレーザ装置（１）であって、当該ガスレーザ装置（１）は、第１の電極（２）と、第２の電極（５）と、当該第１の電極（２）と第２の電極（５）との間に配置されている放電ギャップ（４）とを有しており、前記２つの電極のうちの少なくとも１つの電極（５）上の、放電ギャップ側に、誘電体（１３）が配置されているガスレーザ装置において、前記放電ギャップ（４）内の放電分布に影響を与える、当該誘電体（１３）の誘電厚ｄ／εresは、前記誘電体（１３）が上部に配置されている前記電極（５）の少なくとも１つのディメンジョンに沿って変化し、ここで、ｄは前記誘電体（１３）の厚みであり、εresは前記誘電体（１３）の、結果として生じる誘電率であり、前記誘電体の最も厚い箇所の厚さは少なくとも１ｍｍである、または、電極の長さの１００分の１を上回る、または、入力されるべき高周波電力の周波数によって決まる波長の１０００分の１を上回る。