高アスペクト比及び大きい横方向寸法の構造体のための計測システム及び方法

摘要

高アスペクト比及び大きい横方向寸法の構造体のための種々の計測システム及び方法が提供される。１つの方法は、ウェーハ上に形成された１つ以上の構造体に光を誘導することを含む。光は、紫外光、可視光、及び赤外光を含む。１つ以上の構造体は、少なくとも１つの高アスペクト比の構造体又は少なくとも１つの大きい横方向寸法の構造体を含む。方法はまた、１つ以上の構造体に誘導された光に起因する１つ以上の構造体からの光に対応する出力を生成することを含む。加えて、方法は、出力を用いて１つ以上の構造体の１つ以上の特徴を判定することを含む。