光学装置、光学装置を組み込んだ結像系、および結像系によって実施される試料を結像する方法

摘要

大きい開口数と小さい中心オブスキュレーションとを有する４ミラー対物レンズである光学装置を本書で説明する。４ミラー対物レンズは、２つのシュワルツシルト型対物レンズを互いに連続して設置する。これにより、大きい開口数、長い作動距離、および小さい中心オブスキュレーションが可能になる。各対物レンズは一次および二次のミラーを有する。試料を結像するための結像装置および方法も本書で説明される。