| 发明名称 |
MODEL-BASED CONTROL OF AN OPTICAL IMAGING DEVICE |
| 摘要 |
The disclosure provides a method for determining an actual input value of an input variable for a control unit of an imaging device. |
| 申请公布号 |
US2016026093(A1) |
申请公布日期 |
2016.01.28 |
| 申请号 |
US201514812008 |
申请日期 |
2015.07.29 |
| 申请人 |
Carl Zeiss SMT GmbH |
发明人 |
Hauf Markus;Rothenhoefer Gerald |
| 分类号 |
G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
Oberkochen DE |
