| 摘要 |
생체 물질 감지 바이오 센서는 적어도 하나의 트렌치(trench)가 식각된 기판; 상기 적어도 하나의 트렌치 각각의 둘레를 따라 형성되는 산화막; 상기 산화막 상에 상기 적어도 하나의 트렌치를 매립하도록 배치되는 매몰형 탐지 전극; 상기 기판의 전면에 형성되는 유전막; 상기 매몰형 탐지 전극의 위치에 기초하여 상기 유전막에 생성된 적어도 하나의 센싱 영역 상에 고정되어, 생체 물질을 센싱하는 반응 물질; 및 상기 적어도 하나의 센싱 영역을 통과하도록 생성되는 적어도 하나의 유체관을 포함하고, 상기 적어도 하나의 유체관은 상기 매몰형 탐지 전극과 평행한 적어도 하나의 부분을 포함하도록 생성된다. |
