| 摘要 |
放射をリソグラフィ装置に提供するのに適した放射源は、ガスを含む閉鎖空間内の燃料（３１）から生成されたプラズマ（１２）から放射を生成する。プラズマは、燃料層として収集された一次燃料デブリをデブリ受取面（（３３ａ），（３３ｂ））上に生成する。デブリ受取面は、燃料層を液体として維持するための温度、および液体燃料層からのガス気泡噴出から生じる二次デブリによる光学面（１４）の汚染を減少させるために液体燃料層内のガス気泡の低下したまたはゼロの形成速度を提供するための温度に加熱される。加えてまたは代替的に、放射源は、デブリ受取面に垂直な実質的に全ての線が放射源の光学活性面と交差しないように位置決めおよび／または方向付けされたデブリ受取面を有してよい。【選択図】図３ |
