イオンビーム処理装置

摘要

イオンビーム走査組立体（２０２、３００）は、イオンビームを受け入れ、第一の平面（ｘｚ平面）でイオンビームを走査するために領域（３３０）を定めた一組の走査電極（３１４ａ、３１４ｂ、３１６ａ、３１６ｂ、３１８）と、走査電極の組によって囲まれたイオンビームの進行経路の一部に沿って配置される複数の電極（３０４、３０６、３１０、３１２）を備える多重極静電レンズシステムであって、第一の平面に対して垂直な方向（ｙ）でイオンビームを整形するよう構成される、多重極静電レンズシステムと、を有する。【選択図】図３ａ