Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung und Verfahren zum Einstellen einer mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung

摘要

Die vorliegende Erfindung strebt an, eine vielseitige mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung zu ermöglichen, die für einen breiten Bereich zu betrachtender Proben verwendet wird und Parameter von Emissionsbedingungen eines Strahls primärer geladener Teilchen aufweist, die schwer vorab zu registrieren sind, die selbst von einem weniger erfahrenen Bediener einfach und genau bedient werden kann und wodurch hochauflösende Bilder erhalten werden können. Eine mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung weist beispielsweise Folgendes auf: eine Quelle geladener Teilchen, eine Fokussierlinse für einen von der Quelle geladener Teilchen emittierten Strahl primärer geladener Teilchen, eine Objektivlinse zum Fokussieren des Strahls primärer geladener Teilchen, eine bewegliche Objektivblende mit mehreren Objektivblenden, die in Bezug auf die Objektivlinse auf einer Seite der Quelle geladener Teilchen angeordnet ist, einen Detektor eines Sekundärsignals von der Probe, das sich aus der Emission des Strahls primärer geladener Teilchen ergibt, eine Anzeigeeinheit, die dafür ausgelegt ist, ein detektiertes Sekundärsignal zu verarbeiten und anzuzeigen, und eine Speichereinheit, die dafür ausgelegt ist, mehrere Emissionsbedingungen des Strahls primärer Teilchen zu speichern. Die Betriebssteuereinrichtung veranlasst, dass eine Emissionsbedingung ausgewählt wird, stellt fest, ob die Objektivblende für die ausgewählte Emissionsbedingung geeignet ist, zeigt an, dass die Objektivblende nicht geeignet ist, wenn die Objektivblende nicht geeignet ist, und führt eine Voreinstellung des Strahls primärer geladener Teilchen entsprechend der ausgewählten Emissionsbedingung aus und speichert das Voreinstellungsergebnis als Parameter für die Emissionsbedingungen, wenn die Objektivblende geeignet ist.