| 摘要 |
Vorrichtung zur Diffusionsbehandlung von Werkstücken (5) im Durchlaufverfahren, umfassend eine Außenkammer (1), wobei innerhalb der Außenkammer (1) mindestens ein Reaktionsbereich (2) mit Mitteln zur Evakuierung (21), Mitteln zur Gaszufuhr (22) und Mitteln zur Beheizung (23) des Reaktionsbereichs (2) sowie eine Transporteinrichtung (15) zum Transport der Werkstücke (5) durch die Vorrichtung angeordnet sind, wobei die Mittel zur Gaszufuhr (22) flächig ausgebildet sind und mit geringem Abstand und parallel zur Substratebene angeordnet sind, so dass der Reaktionsbereich (2) im Betrieb der Vorrichtung auf einer Seite durch die Mittel zur Gaszufuhr (22) und auf der anderen Seite durch ein zu behandelndes Werkstück (5) begrenzt ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Reaktionsbereich (2) von Wärmedämmelementen (4) so umschlossen ist, dass die Werkstücke (5) in den von den Wärmedämmelementen (4) umschlossenen Bereich hinein- und daraus heraustransportiert werden können und die Mittel zur Beheizung (23) des Reaktionsbereichs (2) in dem von den Wärmedämmelementen (4) umschlossenen Bereich angeordnet sind. |
