光を吸収する層系及びその製造並びにそのために適したスパッタターゲット

摘要

少なくとも２つの層からなり、前記層の一方は誘電性材料からなる観察者側の反射防止層でありかつ前記層の少なくとも１つの他方は、化学量論的に不足する酸素含有量を有する酸化物又は酸窒化物からなる観察者側とは反対側の吸収層である、光を吸収する層系が提案される。前記層系は全体として、３８０〜７８０ｎｍの波長領域において、２０％未満の視感透過率Ｔｖ、６％未満の視感反射率Ｒｖ及び１０ｋＯｈｍより大きい層抵抗ＲΥを有する。