单体沉积设备

摘要

本发明涉及一种单体沉积设备和利用该单体沉积设备的单体排出方法。根据本发明的该单体沉积设备包括：主腔室，该主腔室用于将单体沉积在基板上；单体腔室，该单体腔室用于收纳处于蒸气状态的单体；闸门，该闸门用于将所述单体腔室打开，从而将单体从所述单体腔室放出到所述主腔室；单体回收单元，该单体回收单元用于从自所述单体腔室排放到外部的气体回收单体；第一真空泵，该第一真空泵连接至所述主腔室或所述单体回收单元，并且抽吸所述主腔室或所述单体腔室中的气体；第一阀，该第一阀用于打开或关闭所述主腔室和所述第一真空泵之间的流动路径；以及第二阀，该第二阀用于打开或关闭所述单体回收单元和所述第一真空泵之间的流动路径。

主权项

一种单体沉积设备，该单体沉积设备包括：主腔室，在该主腔室中将单体沉积在基板上；单体腔室，该单体腔室被构造成收纳处于蒸气状态的单体；闸门，该闸门被构造成将所述单体腔室打开，从而将单体从所述单体腔室放出到所述主腔室；单体回收单元，该单体回收单元被构造成从自所述单体腔室排放到外部的气体回收单体；第一真空泵，当所述单体正被从所述单体腔室放出到所述主腔室并且正在执行沉积过程时，该第一真空泵连接至所述主腔室以抽吸所述主腔室中的所述单体或气体，而当停止向所述单体腔室供应所述单体而供应用于净化将所述单体腔室连接至外部的流动路径的净化气体时，该第一真空泵连接至所述单体回收单元以抽吸所述单体腔室中的所述单体或气体；第二真空泵，该第二真空泵连接至所述主腔室并且被构造成抽吸所述主腔室中的所述单体或气体；第一阀，该第一阀被构造成：当正在执行沉积过程时，打开所述主腔室和所述第一真空泵之间的流动路径，当停止向所述单体腔室供应所述单体而供应所述净化气体时，关闭所述主腔室和所述第一真空泵之间的所述流动路径；以及第二阀，该第二阀被构造成：当停止向所述单体腔室供应所述单体而供应所述净化气体时，打开所述单体回收单元和所述第一真空泵之间的流动路径，而当正在执行沉积过程时，关闭所述单体回收单元和所述第一真空泵之间的所述流动路径，其中所述单体回收单元包括冷却板，所述冷却板构造成利用从外部提供的制冷剂而被冷却并且具有被形成为贯穿所述冷却板的上下表面的通孔，而且所述单体回收单元还包括一个栅格板，所述栅格板被安装成与所述冷却板接触以增加所述单体粘附的表面面积，所述单体回收单元将位于所述冷却板或所述栅格板表面的处于蒸气状态的单体凝结并回收。