发明名称 |
具有场电极和场电介质的半导体器件 |
摘要 |
本发明涉及具有场电极和场电介质的半导体器件。半导体器件(500)包括场电极结构(160),其包括场电极(165)和围绕场电极(165)的场电介质(161)。场电介质(161)包括第一电介质层(161a)和具有比第一电介质层(161a)更小的带隙和更低的导带边缘中的至少一个的第二电介质层(161b)。半导体主体(100)包括围绕场电极结构(160)并直接邻接第一电介质层(161a)的晶体管部分(TS)。晶体管部分(TS)包括源极区(110)、第一漂移区部分(121a)和使源极区(110)与第一漂移区部分(121a)分离的主体区(115)。主体区(115)形成与源极区(110)的第一pn结(pn1)和与第一漂移区部分(121a)的第二pn结(pn2)。 |
申请公布号 |
CN105280713A |
申请公布日期 |
2016.01.27 |
申请号 |
CN201510413647.1 |
申请日期 |
2015.07.15 |
申请人 |
英飞凌科技奥地利有限公司 |
发明人 |
F.希尔勒;M.珀尔兹尔 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/40(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
王岳;胡莉莉 |
主权项 |
一种半导体器件,包括:场电极结构(160),其包括场电极(165)和围绕所述场电极(165)的场电介质(161),其中所述场电介质(161)包括第一电介质层(161a)和具有比所述第一电介质层(161a)更小的带隙和更低的导带边缘中的至少一个的第二电介质层(161b);以及半导体主体(100),其包括晶体管部分(TS),所述晶体管部分(TS)围绕所述场电极结构(160),直接邻接所述第一电介质层(161a),并包括源极区(110)、第一漂移区部分(121a)和使所述源极区(110)与所述第一漂移区部分(121a)分离的主体区(115),所述主体区(115)形成与所述源极区(110)的第一pn结(pn1)和与所述第一漂移区部分(121a)的第二pn结(pn2)。 |
地址 |
奥地利菲拉赫 |