发明名称 TFT及其制作方法、阵列基板及显示装置
摘要 本发明实施例提供一种TFT及其制作方法、阵列基板及显示装置,涉及显示技术领域,能够避免由于氧化物半导体材料暴露于外部环境而造成TFT性能的劣化。该TFT包括有源层。所述有源层包括第一有源层和第二有源层;其中,构成所述第二有源层的材料为氧化物半导体材料,且所述第一有源层的导电率大于所述第二有源层的导电率。
申请公布号 CN105280717A 申请公布日期 2016.01.27
申请号 CN201510613453.6 申请日期 2015.09.23
申请人 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 发明人 朴求铉
分类号 H01L29/786(2006.01)I;H01L29/26(2006.01)I;H01L29/16(2006.01)I;H01L21/34(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人 申健
主权项 一种TFT,其特征在于,包括有源层,所述有源层包括第一有源层和第二有源层;其中,构成所述第二有源层的材料为氧化物半导体材料,且所述第一有源层的导电率大于所述第二有源层的导电率。
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