发明名称 |
TFT及其制作方法、阵列基板及显示装置 |
摘要 |
本发明实施例提供一种TFT及其制作方法、阵列基板及显示装置,涉及显示技术领域,能够避免由于氧化物半导体材料暴露于外部环境而造成TFT性能的劣化。该TFT包括有源层。所述有源层包括第一有源层和第二有源层;其中,构成所述第二有源层的材料为氧化物半导体材料,且所述第一有源层的导电率大于所述第二有源层的导电率。 |
申请公布号 |
CN105280717A |
申请公布日期 |
2016.01.27 |
申请号 |
CN201510613453.6 |
申请日期 |
2015.09.23 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
发明人 |
朴求铉 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L29/26(2006.01)I;H01L29/16(2006.01)I;H01L21/34(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种TFT,其特征在于,包括有源层,所述有源层包括第一有源层和第二有源层;其中,构成所述第二有源层的材料为氧化物半导体材料,且所述第一有源层的导电率大于所述第二有源层的导电率。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |