发明名称 |
掩模框架组件和制造方法及有机发光显示装置的制造方法 |
摘要 |
本发明公开了用于薄膜沉积的掩模框架组件、用于薄膜沉积的掩模框架组件的制造方法和有机发光显示装置的制造方法。本发明包括框架、掩模和第一固定部件,其中,所述框架具有开口部和支承部,所述掩模包括位于与所述开口部对应的位置处的沉积区域,所述第一固定部件注入到所述掩模中以贯穿所述掩模并且与所述框架和所述掩模进行固定而将所述掩模固定至所述框架。 |
申请公布号 |
CN105274471A |
申请公布日期 |
2016.01.27 |
申请号 |
CN201510069753.2 |
申请日期 |
2015.02.10 |
申请人 |
三星显示有限公司 |
发明人 |
韩政洹 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 |
代理人 |
余朦;杨莘 |
主权项 |
一种用于薄膜沉积的掩模框架组件,包括:框架,具有开口部和支承部;掩模,包括位于与所述开口部对应的位置处的沉积区域;以及第一固定部件,注入到所述掩模以贯穿所述掩模并且与所述框架和所述掩模固定从而将所述掩模固定至所述框架。 |
地址 |
韩国京畿道 |