具有补偿的力传感器

摘要

本发明的各方面指向力传感器。可根据一个或多个实施方式实现地，一种装置包括具有谐振频率的力响应元件，以及补偿力响应元件的变化的电路。力响应元件响应于所施加的力、依照对波动敏感的弹簧系数来移动。该补偿电路基于温度确定力响应元件在谐振频率上的布朗运动，并基于所确定的布朗运动及力响应元件的移动而生成输出。该输出指示施加到该装置上的力。

主权项

一种装置，其特征在于，包括：力响应元件，具有谐振频率，配置和布置为响应于所施加的力、依照对波动敏感的弹簧系数而移动；以及电路，配置和布置为基于温度确定力响应元件在谐振频率处的布朗运动，以及基于所确定的布朗运动和力响应元件的移动而生成输出，所述输出指示施加到所述装置上的力。