发明名称 | 光罩及光罩的制造方法 | ||
摘要 | 本发明的名称是光罩及光罩的制造方法。一种光罩的制造方法,其步骤包括:提供可挠性基板。于可挠性基板上形成多个微结构。于可挠性基板上涂布遮光材料,使基板形成遮光层。固化遮光层,且遮光层为单一层体。 | ||
申请公布号 | CN105278237A | 申请公布日期 | 2016.01.27 |
申请号 | CN201410307983.3 | 申请日期 | 2014.06.30 |
申请人 | 李永春 | 发明人 | 李永春;吴俊颖;谢恒;谢易达;颜志男 |
分类号 | G03F1/68(2012.01)I;G03F1/00(2012.01)I | 主分类号 | G03F1/68(2012.01)I |
代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 赵蓉民;张全信 |
主权项 | 一种光罩的制造方法,其步骤包括:提供一可挠性基板;于所述可挠性基板上形成多个微结构;于所述可挠性基板上涂布一遮光材料,使所述基板形成一遮光层;以及固化所述遮光层;其中,所述遮光层为单一层体。 | ||
地址 | 中国台湾台南市永康区小东路685巷8-22号13楼 |