发明名称 光罩及光罩的制造方法
摘要 本发明的名称是光罩及光罩的制造方法。一种光罩的制造方法,其步骤包括:提供可挠性基板。于可挠性基板上形成多个微结构。于可挠性基板上涂布遮光材料,使基板形成遮光层。固化遮光层,且遮光层为单一层体。
申请公布号 CN105278237A 申请公布日期 2016.01.27
申请号 CN201410307983.3 申请日期 2014.06.30
申请人 李永春 发明人 李永春;吴俊颖;谢恒;谢易达;颜志男
分类号 G03F1/68(2012.01)I;G03F1/00(2012.01)I 主分类号 G03F1/68(2012.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人 赵蓉民;张全信
主权项 一种光罩的制造方法,其步骤包括:提供一可挠性基板;于所述可挠性基板上形成多个微结构;于所述可挠性基板上涂布一遮光材料,使所述基板形成一遮光层;以及固化所述遮光层;其中,所述遮光层为单一层体。
地址 中国台湾台南市永康区小东路685巷8-22号13楼
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