用于借助激光辐射剥除对激光辐射透明的脆硬材料的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于借助于激光辐射剥除脆硬材料（1）的方法，该材料在上侧（4）与下侧（2）之间具有给定厚度的空间体积，并且该材料（1）具有大于或等于其厚度的所定义的光学侵入深度。激光辐射以相对于上侧的面法线的所定义的入射角（10）入射；该激光辐射被称为初级激光辐射（12）。初级激光辐射（12）在材料（1）的下侧（2）处至少部分被反射，使得在材料的体积中通过反射生成次级激光辐射（13）。为了加工脆硬材料（1），该脆硬材料在下侧形状配合地被另外的材料（3）存放。本发明还涉及相应的装置。

主权项

用于借助于激光辐射剥除对激光辐射透明的脆硬材料的方法，其中所述材料在材料的上侧与下侧之间具有给定厚度的空间体积，并且所述材料具有大于或等于材料厚度的所定义的光学侵入深度，其中激光辐射以激光辐射的轴与上侧的面法线之间的所定义的入射角入射，并且入射到材料的上侧上的激光辐射被称为初级激光辐射，其中初级激光辐射在材料的下侧处至少部分被反射，使得在材料的体积中通过反射来生成次级激光辐射，其中通过吸收初级和次级激光辐射的相干叠加在材料的体积中生成电子密度，所述电子密度具有电子密度的对材料具有不同作用的至少两个等级，其中给电子密度的这些等级分配初级激光辐射的强度的材料特定的阈值，其方式是，由材料特性的改变和/或以裂缝形式的机械损伤来表征初级激光辐射的强度的第一阈值的达到，并且由材料的以剥落和/或剥除形式的机械剥除来表征第二阈值的达到，其特征在于，为了加工脆硬材料，所述脆硬材料在下侧形状配合地被另外的材料存放。