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发明名称 POLISHING COMPOSITION
摘要 본 발명은 상변화 화합물의 연마 속도 및 연마 선택성을 향상시킬 수 있는 수단을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은 3개 이상의 히드록시기를 갖는 유기 화합물과, 상변화 화합물의 적어도 하나의 성분에 대해 킬레이트 작용을 갖는 제 및 취성막 형성제의 적어도 한쪽과, 산화제를 포함하는 연마용 조성물이다.
申请公布号 KR20160010445(A) 申请公布日期 2016.01.27
申请号 KR20157032065 申请日期 2014.05.01
申请人 FUJIMI INCORPORATED 发明人 YOSHIZAKI YUKINOBU
分类号 C09G1/02;C09K3/14;H01L21/306 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
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