超声辅助阳极氧化制备超大孔间距多孔氧化铝膜的方法

摘要

本发明涉及多孔阳极氧化铝膜，特指超声辅助阳极氧化制备超大孔间距多孔氧化铝膜的方法。本发明使用在柠檬酸电解液中添加乙醇提高电解电压，结合超声技术提高电解速率，实现超高电压（>500V）稳定电解，并获得孔间距超过1微米的超大孔间距PAA。本发明只需要二次阳极氧化工艺，对铝片前处理没有苛刻要求，不需要复杂的退火，抛光或预图案化等前处理步骤；本发明在电解过程中不需要像硬质阳极氧化一样需要极低的温度，在很宽的温度范围内（0-30摄氏度）都能够进行稳定的生长。

主权项

超声辅助阳极氧化制备超大孔间距多孔氧化铝膜的方法，其特征在于包括如下步骤：（1）以铝片为阳极，所述铝片对前处理没有苛刻要求，不需要复杂的退火，抛光或预图案化前处理步骤，配置柠檬酸溶液和无水乙醇的混合电解液，使电解液处于超声状态，电解时间0.5‑2小时；（2）在磷酸和铬酸的混合溶液中去除PAA膜；（3）电解液体系、电解电压和温度与第一步相同，电解时间根据需要的孔深确定；柠檬酸与无水乙醇的体积比为1：1~2，柠檬酸的浓度为0.3M，超声功率和频率分别为100‑200 W和35~50kHz；所述超大孔间距为1‑1.5µm。