浸润式光刻机浸润部件的自动清洗装置和清洗方法

摘要

本发明公开了一种浸润式光刻机浸润部件的自动清洗装置和清洗方法，通过在浸润部件环形开口周围的固定支架加装超声波振荡器，并在浸润部件原有的超纯水进水管上加装异丙醇和光阻涂布机专用显影液二个分支管，使浸润部件环形开口下端面部位粘附的污染物在清洗过程中的超声波振荡作用下发生松动，并在不同清洗液体的组合循环冲洗和空气吹扫作用下脱落而带走，免除了人工清洗的困难，消除了现有清洗方法存在的清洁效率低下，耗时长，易造成设备损伤，且清洁效果不佳的缺陷，可利用生产间歇时间，即可实现由控制模块执行对浸润部件的自动清洗，并达到最佳清洁效果。

主权项

一种浸润式光刻机浸润部件的自动清洗装置，所述浸润部件中部设有环形开口，所述环形开口环绕所述光刻机的投影镜头设置，所述浸润部件的所述环形开口周围具有向外延伸的固定支架，所述固定支架与所述投影镜头周围的所述光刻机的内部固接，所述环形开口下端面的圆周上由内而外依次设有均布的进水口、排水口和环形气槽，所述进水口、排水口和环形气槽分别连通所述浸润部件的进水管、排水管、气管，所述进水管、排水管、气管分别装有气动阀，其特征在于，所述自动清洗装置包括：二个分支管，所述二个分支管加装在所述浸润部件原有的所述进水管上，所述二个分支管分别装有气动阀，所述二个分支管与所述浸润部件原有的所述进水管、排水管、气管共同构成清洗管路；其中，所述进水管通入超纯水，所述二个分支管之一通入异丙醇、另一支通入光阻涂布机专用显影液，所述气管通入空气；其中，通过所述进水管及加装的所述二个分支管向所述浸润部件的所述进水口分别通入超纯水进行清洗、通入异丙醇稀释光阻残留及通入显影液稀释光阻的光酸残留，经所述排水口向所述排水管排出，并通过所述气管向所述环形气槽通入空气吹扫，共同对所述浸润部件的所述环形开口下端面部位进行液体清洗和气体吹扫；超声波振荡器，所述超声波振荡器加装在所述浸润部件的所述固定支架上；其中，当所述超声波振荡器打开时，使所述浸润部件及流经的液体和气体清洗介质产生高速振荡，对所述浸润部件的所述环形开口下端面部位进行超声清洗；控制模块，所述控制模块分别连接所述超声波振荡器和各所述气动阀，所述控制模块根据自动清洗步骤的要求，在生产间歇时间，执行对所述超声波振荡器和各所述气动阀的不同组合开关控制，以对浸润部件进行自动清洗；其中，在清洗开始阶段，打开进水管、排水管气动阀，通入超纯水，打开气管气动阀，通入空气；在超声清洗阶段，打开超声波振荡器，使所述浸润部件产生高速振荡；在冲洗阶段，根据需要可继续打开或关闭超声波振荡器，并分别打开超纯水通入管、异丙醇通入管和显影液通入管的气动阀，气管的气动阀保持常开，对所述浸润部件的所述环形开口下端面部位进行液体冲洗和气体吹扫；在清洗结束阶段，关闭超声波振荡器和所有气动阀；其中，在清洗开始阶段，所述控制模块通过控制进水管气动阀控制所述超纯水的通入流量小于冲洗阶段中各清洗液体的通入流量、控制所述超纯水的通入时间大于冲洗阶段中各清洗液体的通入时间；在冲洗阶段，所述控制模块通过控制超纯水通入管、异丙醇通入管和显影液通入管的气动阀，控制各清洗液体的通入时间少于超声清洗阶段中的超声波振荡时间；并根据污染程度的轻或重，所述控制模块选择冲洗阶段中超声波振荡器的关闭或打开，以及控制清洗开始阶段‑超声清洗阶段‑冲洗阶段的重复进行次数。