在垂直磁记录介质上的软磁性薄膜层中使用的合金，溅射靶材，以及具有软磁性薄膜层的垂直磁记录介质

摘要

本发明提供了一种用于垂直磁记录介质的软磁性合金，其在室温展现低饱和磁通密度，并且具有在高温小的饱和磁通密度下降。该合金包含，按原子％计，Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Ni、Cu、Al、B、C、Si、P、Zn、Ga、Ge和Sn中的一种或两种以上，和余量的Co、Fe，以及不可避免的杂质，并且满足以下全部：表达式(1)0≤Fe％／(Fe％+Co％)≤0.5；表达式(2)5≤Ti％+Zr％+Hf％+V％+Nb％+Ta％+B％／2；和表达式(3)0.3≤0.813×Fe％／(Fe％+Co％)-0.062×TNM+1.751≤1.2(其中，Fe％／(Fe％+Co％)是Fe的含量与Fe和Co的总含量之间的比例；并且TNM是所加入的Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Ni、Cu、Al、B、C、Si、P、Zn、Ga、Ge和Sn的量的总百分数，其中，仅对于B，使用其1／2的值)。

主权项

一种用于垂直磁记录介质中的软磁性薄膜层的合金，其中，所述合金包含按原子％计的：Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Ni、Cu、Al、B、C、Si、P、Zn、Ga、Ge和Sn中的一种或两种以上，和余量的Co、Fe，以及不可避免的杂质；并且满足以下表达式(1)至(3)的全部：(1)0≤Fe％/(Fe％+Co％)≤0.5；(2)13≤Ti％+Zr％+Hf％+V％+Nb％+Ta％+B％/2；和(3)0.3≤0.813×Fe％/(Fe％+Co％)‑0.062×TNM+1.751≤1.2(其中Fe％/(Fe％+Co％)是Fe的含量与Fe和Co的总含量的比例；并且TNM是加入的Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Ni、Cu、Al、B、C、Si、P、Zn、Ga、Ge和Sn的量的总百分数，其中，仅对于B使用其1/2的值)。