发明名称 |
一种金刚石膜抛光装置 |
摘要 |
本发明公开了一种金刚石膜抛光装置,包括封闭的容器,所述容器下端设有支撑腿支撑于地面,容器侧面设有水冷装置,所述的水冷装置前端部插入容器内,所述的水冷装置前端设有铝板制成的阴极,阴极连接直流电源,阴极外侧设有绝缘层,在阴极对面设有托架,金刚石膜设置于托架上,所述的托架上还连接电热偶,形成电子束,所述的容器下端设有气泵,气泵连接气源,气源为氧气和氢气。本发明采用离子体通过阴极表面时将产生弯曲,使之在工件与阴极之间产生半聚焦的电子束,同时容器保持一定的真空度,电子束辅助等离子体加工可用于处理最小厚度仅为5μm的极薄金刚石膜,加工速度约为10~40nm/min。 |
申请公布号 |
CN105274501A |
申请公布日期 |
2016.01.27 |
申请号 |
CN201510627303.0 |
申请日期 |
2015.09.25 |
申请人 |
安庆市凯立金刚石科技有限公司 |
发明人 |
李凯 |
分类号 |
C23C16/56(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/56(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种金刚石膜抛光装置,包括封闭的容器,所述容器下端设有支撑腿支撑于地面,其特征在于:所述的容器侧面设有水冷装置,所述的水冷装置前端部插入容器内,所述的水冷装置前端设有铝板制成的阴极,阴极连接直流电源,阴极外侧设有绝缘层,在阴极对面设有托架,金刚石膜设置于托架上,所述的托架上还连接电热偶,形成电子束,所述的容器下端设有气泵,气泵连接气源,气源为氧气和氢气。 |
地址 |
246100 安徽省安庆市怀宁县工业园 |