发明名称 |
双色探测器 |
摘要 |
本发明公开了一种双色探测器,其特征在于,所述双色探测器采用纵向集成结构,自下而上依次包括衬底、铝镓氮材料层、金属叉指电极、绝缘介质层、石墨烯材料层以及金属电极。该探测器中两种波段的探测器件具有自下而上的集成结构,减小了器件尺寸,降低了制备工艺和探测系统的复杂性。 |
申请公布号 |
CN105280748A |
申请公布日期 |
2016.01.27 |
申请号 |
CN201410328394.3 |
申请日期 |
2014.07.11 |
申请人 |
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
发明人 |
付凯;刘翌寒;高华杰;张宝顺 |
分类号 |
H01L31/09(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/09(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 |
代理人 |
孙伟峰;杨林 |
主权项 |
一种双色探测器,其特征在于,所述双色探测器采用纵向集成结构,自下而上依次包括衬底、铝镓氮材料层、金属叉指电极、绝缘介质层、石墨烯材料层以及金属电极。 |
地址 |
215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号 |