发明名称 双色探测器
摘要 本发明公开了一种双色探测器,其特征在于,所述双色探测器采用纵向集成结构,自下而上依次包括衬底、铝镓氮材料层、金属叉指电极、绝缘介质层、石墨烯材料层以及金属电极。该探测器中两种波段的探测器件具有自下而上的集成结构,减小了器件尺寸,降低了制备工艺和探测系统的复杂性。
申请公布号 CN105280748A 申请公布日期 2016.01.27
申请号 CN201410328394.3 申请日期 2014.07.11
申请人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明人 付凯;刘翌寒;高华杰;张宝顺
分类号 H01L31/09(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I 主分类号 H01L31/09(2006.01)I
代理机构 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人 孙伟峰;杨林
主权项 一种双色探测器,其特征在于,所述双色探测器采用纵向集成结构,自下而上依次包括衬底、铝镓氮材料层、金属叉指电极、绝缘介质层、石墨烯材料层以及金属电极。
地址 215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号