多晶片转盘ALD中的集成两轴升降旋转电动机的基座

摘要

本发明提供用于处理半导体晶片的装置和方法，所述装置和方法包括具有真空能力的两轴升降旋转电动机的基座。晶片经受在顶表面和底表面之间的差压以使得足够的力防止晶片在处理期间移动，所述差压通过经由与电动机组件的接口施加减小的压力至晶片背侧来产生。

主权项

一种电动机组件，包含：电动机外壳，具有顶部和底部；驱动轴，从所述电动机外壳的所述顶部延伸一距离且在所述驱动轴中具有空腔；第一电动机，在所述电动机外壳之内以围绕中心轴旋转在所述电动机外壳之内的所述驱动轴；和第二电动机，相邻于所述电动机外壳的所述底部，且所述第二电动机与所述电动机外壳之内的至少一个导轨连通以沿着所述中心轴移动所述第一电动机和空心轴。