图像取得装置及图像取得装置的聚焦方法

摘要

图像取得装置(M)中，通过光路差生成部件(21)的配置，不进行焦点控制用的第二光路(L2)上的光的分支而可形成第二光学图像的光路长差。因此，可抑制为了得到焦点位置的信息所需要的向第二光路(L2)的光量，并可确保通过第一摄像装置(18)进行摄像时的光量。另外，该图像取得装置(M)中，在光路差生成部件(21)的第一面(26)和第二面(27)之间设有减少到达第二摄像装置(20)的摄像面(20a)的光的光减少部(28)。利用该光减少部(28)，可以缩小第二摄像装置(20)的摄像面(20a)上的光重叠区域(29)，可高精度地实施试样S的焦点位置的控制。

主权项

一种图像取得装置，其特征在于，具备：工作台，其载置试样；工作台控制单元，其以规定的速度扫描所述工作台；光源，其向所述试样照射光；导光光学系统，其包含将所述试样的光学图像向图像取得用的第一光路及焦点控制用的第二光路分支的光分支单元；第一摄像单元，其取得由向所述第一光路分支的第一光学图像形成的第一图像；第二摄像单元，其取得由向所述第二光路分支的第二光学图像形成的第二图像；焦点控制单元，其解析所述第二图像，且基于该解析结果控制由所述第一摄像单元进行的摄像的焦点位置；光路差生成部件，其配置于所述第二光路，沿着所述第二摄像单元的摄像面的面内方向在所述第二光学图像产生光路差，所述光路差生成部件具有相对于与所述第二光路的光轴正交的面倾斜的第一面及第二面，在所述第一面和所述第二面之间设有减少到达所述摄像面的光的光减少部。