发明名称 | 基板 | ||
摘要 | 在其上具有介电膜的基板,其中,该介电膜包括介电材料的至少四个堆叠的层;该堆叠的层包括经受压缩应力的压缩性层,以及经受拉伸应力的拉伸性层;并且存在至少两个间隔开的拉伸性层,该至少两个间隔开的拉伸性层中的每一个均与一个或多个压缩性层相邻。 | ||
申请公布号 | CN105280566A | 申请公布日期 | 2016.01.27 |
申请号 | CN201510315901.4 | 申请日期 | 2015.06.10 |
申请人 | SPTS科技有限公司 | 发明人 | 凯瑟琳·克鲁克;斯蒂芬·R·伯吉斯 |
分类号 | H01L23/14(2006.01)I;H01L21/316(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/14(2006.01)I |
代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人 | 张颖玲;胡春光 |
主权项 | 一种基板,在所述基板上具有介电膜,其中,所述介电膜包括介电材料的至少四个堆叠的层;所述堆叠的层包括经受压缩应力的压缩性层,以及经受拉伸应力的拉伸性层;并且存在至少两个间隔开的拉伸性层,所述至少两个间隔开的拉伸性层中的每一个均与一个或多个压缩性层相邻。 | ||
地址 | 英国新港 |