发明名称 半导体装置及半导体装置的制造方法
摘要 根据实施方式,提供一种半导体装置。半导体装置具备绝缘层、电极和槽。绝缘层设在基板的表面上。电极埋设在绝缘层中,一方的端面从绝缘层露出。槽形成在基板表面的电极的周围。此外,槽以电极的外侧面为一方的侧面,绝缘层的表面侧被开放。埋设在绝缘层中的电极其一方的端面从绝缘层的表面突出。
申请公布号 CN105280657A 申请公布日期 2016.01.27
申请号 CN201510321410.0 申请日期 2015.06.12
申请人 株式会社东芝 发明人 谷田一真;吉田贵光;内海邦朗;川崎敦子
分类号 H01L27/146(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 徐殿军
主权项 一种半导体装置,其特征在于,具备:绝缘层,设置于基板的表面;电极,埋设于上述绝缘层,一方的端面从绝缘层露出;以及槽,形成在上述基板表面的上述电极的周围。
地址 日本东京都