处理LED MOCVD设备的工艺废气的尾气处理装置

摘要

一种处理LED MOCVD设备的工艺废气的尾气处理装置，包括一个用于燃烧废气的燃烧腔体和一个包裹所述燃烧腔体的加热带，所述燃烧腔体包括环形嵌套在一起的外腔和内腔；所述嵌套在一起的外腔和内腔有一个共同的顶部端盖，所述端盖将外腔和内腔通过螺丝及密封垫紧锁在一起；外腔外壁配置有两片环抱式加热带，所述加热带将整个外腔包裹起来。本发明充分利的燃烧热，消耗的电能较少。它的特点如下：废气H2和NH3可安全、燃烧彻底、无废水产生，节能环保，拥有成本非常低，维护周期长，设施简单、易于安装。

主权项

一种用于处理LEDMOCVD设备的工艺废气的尾气处理装置，其特征在于，包括一个用于燃烧工艺废气的燃烧腔体和一个包裹燃烧腔体的加热带，所述燃烧腔体包括环形嵌套在一起的外腔和内腔；所述嵌套在一起的外腔和内腔有一个共同的顶部端盖，所述端盖将外腔和内腔通过螺丝及密封垫紧锁在一起；外腔外壁配置有两片环抱式加热带，所述加热带将整个外腔包裹起来。