表面倾斜或弯曲的透明材料的主体的高度图的计算方法

摘要

本发明涉及一种表面倾斜或弯曲的透明材料的主体的高度图的计算方法，其中计算方法用于计算样本的高度图，所述样本包括具有倾斜或弯曲的表面的折射率为n的透明材料的主体，所述主体设置于从该主体的下方横向延伸的基底表面上，所述计算方法包括：将具有倾斜或弯曲的表面的透明材料的主体的第一区域以及从所述主体的下方横向延伸的基底表面的第二区域，放置在光学轮廓仪的下方；利用所述光学轮廓仪来测量所述第一区域的高度图(ZIS)和所述第二区域的高度图(ZUS)；以及通过使用所述折射率(n)、所测量到的所述第一区域的高度图(ZIS)和所述第二区域的高度图(ZUS)，来计算所述倾斜或弯曲的表面的高度图(HIS)。

主权项

一种样本的高度图的计算方法，所述样本包括具有倾斜或弯曲的表面的且折射率为n的透明材料的主体，所述主体设置于从该主体的下方横向延伸的基底表面上，所述计算方法包括以下步骤：将具有倾斜或弯曲的表面的透明材料的主体的第一区域以及从所述主体的下方横向延伸的基底表面的第二区域，放置在光学轮廓仪的下方；利用所述光学轮廓仪来测量所述第一区域的高度图ZIS和所述第二区域的高度图ZUS；以及通过使用所述折射率n、所测量到的所述第一区域的高度图ZIS和所述第二区域的高度图ZUS，来计算所述倾斜或弯曲的表面的高度图HIS。