发明名称 |
一种在塑胶上电镀电磁防辐射层的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种在塑胶上电镀电磁防辐射层的方法,将塑胶产品安装到蒸发镀设备上,投入蒸发材料,抽真空至6×10<sup>-3</sup>Pa,通Ar气至1×10<sup>-1</sup>Pa,持续射频放电将Ar气全部电离成离子状态,开始通电蒸发材料,同时持续通入Ar气,并持续射频放电,保持真空度在4×10<sup>-2</sup>Pa,蒸发Cu材料,间隔1分钟,蒸发IS材料,通大气,完成整个蒸着过程。本发明的方法可以很好的加工深度较深的产品;使用价格相对较低的蒸发镀设备完成性能与溅镀相当的产品;标准化的电镀工艺,利于操作,节约成本。 |
申请公布号 |
CN105274478A |
申请公布日期 |
2016.01.27 |
申请号 |
CN201510654234.2 |
申请日期 |
2015.10.10 |
申请人 |
江苏新思达电子有限公司 |
发明人 |
王寒骁;席锦华 |
分类号 |
C23C14/32(2006.01)I;C23C14/20(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/32(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种在塑胶上电镀电磁防辐射层的方法,其特征在于,包括下述步骤:将塑胶产品安装到蒸发镀设备上,投入蒸发材料,抽真空至6×10<sup>‑3</sup>Pa,通Ar气至1×10<sup>‑1</sup>Pa,持续射频放电将Ar气全部电离成离子状态,开始通电蒸发材料,同时持续通入Ar气,并持续射频放电,保持真空度在4×10<sup>‑2</sup>Pa,蒸发Cu材料,间隔1分钟,蒸发IS材料,通大气,完成整个蒸着过程。 |
地址 |
215500 江苏省苏州市常熟市虞山高新产业园谢塘路32号 |