发明名称 具有钝化层的发光二极管
摘要 本发明涉及一种用于制造光电子半导体芯片的方法。所述方法包括:在初始衬底(120)上构成半导体层序列(130)和对半导体层序列(130)结构化,其中构成呈隆起部的形式的、具有环绕的侧表面(239)的半导体结构(230,232),其方式是,移除包围半导体结构(230,232)的区域中的半导体层序列(130)的材料直至如下深度,使得在环绕的侧表面(239)上露出半导体层序列(130)的有源区(133)。所述方法还包括:构成钝化层(150),其中钝化层(150)设置在半导体结构(230,232)的环绕的侧表面(239)上;在构成钝化层(150)之后在半导体结构(230,232)的具有至少一个贯通孔(260)的区域中构成连接结构;将连接结构与载体衬底(125)连接;和移除初始衬底(120)。本发明还涉及一种光电子半导体芯片。
申请公布号 CN105283967A 申请公布日期 2016.01.27
申请号 CN201480032470.4 申请日期 2014.06.05
申请人 欧司朗光电半导体有限公司 发明人 扎比内·沃马多普;马库斯·毛特
分类号 H01L33/00(2006.01)I;H01L33/40(2006.01)I;H01L33/44(2006.01)I;H01L33/20(2006.01)I 主分类号 H01L33/00(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 丁永凡;张春水
主权项 一种用于制造光电子半导体芯片的方法,所述方法包括如下方法步骤:在初始衬底(120)上构成半导体层序列(130),所述半导体层序列具有第一半导体区域和第二半导体区域(131,132)以及设置在其间的用于产生辐射的有源区(133);对所述半导体层序列(130)结构化,其中构成呈隆起部的形式的、具有环绕的侧表面(239)的半导体结构(230,232),其方式是,移除包围所述半导体结构(230,232)的区域中的所述半导体层序列(130)的材料至少直至如下深度,使得在环绕的所述侧表面(239)上露出所述有源区(133);构成钝化层(150),其中所述钝化层(150)设置在所述半导体结构(230,232)的环绕的所述侧表面(239)上;在构成所述钝化层(150)之后,在所述半导体结构(230,232)的区域中构成连接结构,所述连接结构具有能传导的第一连接层和第二连接层(161,162),所述第一连接层和第二连接层彼此分开,其中所述第一连接层(161)与所述第一半导体区域(131)电连接,并且所述第二连接层(162)经由至少一个贯通孔(260)与所述第二半导体区域(132)电连接;将所述连接结构与载体衬底(125)连接;以及移除所述初始衬底(120)。
地址 德国雷根斯堡